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ATMFC/M氣體質(zhì)量流量控制器
上海艾絲特儀表廠ATMFC/M系列數(shù)字型氣體質(zhì)量流量控制器,采用熱式質(zhì)量原理與閉環(huán)控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體質(zhì)量流量的精密測(cè)量與快速穩(wěn)定控制(響應(yīng)時(shí)間優(yōu)于1s)。產(chǎn)品量程覆蓋2SCCM-30SLPM,精度可達(dá)±1%滿量程(高精定制±0.5%FS),廣泛適用于半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、燃料電池及科研實(shí)驗(yàn)等精密氣體控制場(chǎng)景。